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半导体超纯水设备

类别:超纯水设备 厂家:无锡旭能

超纯水设备通过多级技术组合实现极高纯度水质,核心原理如下:1.预处理系统‌多介质过滤‌:石英砂过滤器去除悬浮物、胶体等大颗粒杂质。‌活性炭吸附‌:消除余氯、有机

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产品详情

超纯水设备通过多级技术组合实现极高纯度水质,核心原理如下:

1.预处理系统

  • 多介质过滤‌:石英砂过滤器去除悬浮物、胶体等大颗粒杂质。
  • 活性炭吸附‌:消除余氯、有机物及色度,吸附率超99%。
  • 软化处理‌:阳离子交换树脂降低水的硬度‌。

2. 反渗透(RO)技术

  • 高压驱动水分子通过0.0001微米孔径的RO膜,截留99%以上离子、有机物及微生物‌。
  • 产水电导率≤10μS/cm,为后续精处理提供基础‌。

 3.精处理系统

  • 电去离子(EDI)‌:结合电渗析与离子交换,直流电场驱动离子定向迁移,阴阳离子交换膜选择性截留杂质,实现连续脱盐,无需酸碱再生‌。
  • 抛光混床‌:进一步提纯,电阻率接近18.25MΩ·cm极限值‌。

4.后处理

  • 紫外杀菌‌:破坏微生物核酸结构,确保生物安全性‌。
  • 超滤/臭氧处理‌:去除残留微粒及TOC(总有机碳)‌。
  • 电渗析‌:利用电场驱动离子透过选择性膜,浓室与淡室分离离子‌。
  • 离子交换‌:树脂吸附水中离子并释放等量H⁺/OH⁻,EDI中树脂可自动再生‌


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