这套0.5吨超纯水设备通过“双级反渗透深度脱盐+抛光树脂精处理+终端过滤器把关”的三级串联工艺，最终产出电阻率可达18.25MΩ·cm的高纯度超纯水。

一、双级反渗透单元

1. 基于半透膜的选择透过性，在高于渗透压的外力驱动下，让水分子透过膜，截留水中98%以上的溶解盐类、胶体、微生物和有机物。
2. 一级RO先完成主要脱盐任务，产水再送入二级RO进一步深度净化，两级串联后产水电导率可降至10μs/cm以下，大幅降低后续抛光单元的处理负荷。

二、抛光树脂单元

1. 抛光树脂由H型强酸性阳树脂和OH型强碱性阴树脂按比例预混而成，通过离子交换反应，阳树脂释放H⁺置换水中阳离子，阴树脂释放OH⁻置换水中阴离子，两者结合生成纯水。
2. 它能深度去除双级反渗透出水中残留的痕量离子、微量有机物和SiO₂，将产水电阻率稳定提升至18.25MΩ·cm，满足半导体等高端行业的用水要求。

三、终端过滤器单元

作为最后一道把关工序，通常采用0.1μm/0.22μm级的微孔滤膜，截留抛光树脂出水中可能夹带的树脂碎屑、残留微粒和少量微生物，彻底杜绝二次污染，保障最终出水的颗粒指标完全达标。