一、核心检测指标

1. ‌电导率/电阻率‌

   • 电导率越低（或电阻率越高）表明离子含量越少，纯度越高。
   • 超纯水电阻率通常需≥18.2 MΩ·cm（25℃）。

2. ‌总有机碳（TOC）‌

   • TOC含量反映有机物污染程度，半导体行业要求TOC≤1 ppb。

3. ‌微生物检测‌

   • 采用膜过滤法或培养法，确保微生物数量符合无菌要求（如≤1 CFU/mL）。

4. ‌颗粒物计数‌

   • 激光粒子计数器检测颗粒浓度（如0.2μm颗粒≤1个/mL）。

5. ‌重金属与离子含量‌

   • 需检测铅、汞等重金属（≤0.1 ppb）及特定离子（如SiO₂）。

二、检测方法与仪器

1. ‌电导率仪‌
   直接测量离子导电性，快速评估纯度。

2. ‌TOC分析仪‌
   紫外氧化-非色散红外法（UV-NDIR）检测有机物。

3. ‌激光粒子计数器‌
   精确统计颗粒物数量及粒径分布。

4. ‌离子色谱仪‌
   分析痕量金属离子（如Na⁺、Cl⁻）。

三、操作规范与标准

1. ‌定期监测‌

   • 每日记录电导率、TOC等关键数据，观察稳定性。

2. ‌参照标准‌

   • 符合ISO 3696、ASTM D1193或GB/T 11446（电子级水）等标准。

3. ‌设备维护‌

   • 定期更换滤芯、反冲洗预处理系统，避免膜污染或堵塞。

四、常见问题处理

• ‌水质下降原因‌：原水不达标、滤芯失效、膜破损或清洗不当
  。
• ‌异常处理‌：立即停机检查，更换耗材或联系专业维修。

通过上述指标与方法可系统评估超纯水机水质，确保满足科研、医疗或工业需求。